1. 浮栅型碳基气体传感平台

                     器件制备

                                                 

       本器件在传统电阻式和MOS型气体传感器的基础上对器件结构进行了优化,制备基于碳管薄膜的浮栅型结构器件,实现了灵敏度稳定性,选择性的系统提升,为小尺寸、低功耗、高性能的气体传感平台批量制备打下了基础。

        特点介绍:

        (1)高灵敏度

       响应时间、响应度、静态功耗的显著优化为更低的探测下限、更实时的环境监测、更低的功耗提供了可能。

       (2)高选择性

       选择性的巨大提升对在复杂气体环境中对目标气体的精准定量检测具有重大意义。

      (3)高均一性、稳定性

       器件均一性的提升为器件实现批量制备奠定了基础;稳定性的提升有利于降低传感器的应用成本。

 

2. 碳基气体传感阵列电子鼻

      

       本电子鼻器件由碳纳米管气体传感器阵列和机器学习算法组成。气体传感器阵列集成了在片式微加热器,在室温下实现了高灵敏度的气体检测和气体分类,且传感器的功耗相比传统器件大大降低。该电子鼻可以满足智能家居、天然气和石油工业等对环境监测的迫切需求。

        特点介绍:

      (1)采用栅压恢复实现了器件快速恢复,相较加热恢复功耗更低。

      (2)利用PCA(主成分分析法)实现了不同气体的分类。

      (3)采用一种可以抑制传感器基线漂移的方法--主动补偿法,极大提升了传感器的可靠性。

      (4)在一个确定的栅压电流下,传感器保持稳定。极大减小检测误差。