采用以半导体碳管薄膜FET作为传感器平台：

1. 通用碳基FET 平台

     规格：4-inch wafer，沟道尺寸、测试电极和晶体管个数可以根据用户需求订制，沟道覆盖Y2O3钝化层（或者裸露）

     电流开关比： 源漏电压0.1V下大于10⁴

     价格：10000USD/片，60000 RMB/片

2. 根据用户要求开发气敏、化学、生物、光敏等多种传感器，价格面议

详细介绍：

单壁半导体型碳纳米管具有高比表面积，优异的电学性能、良好的生物相容性和与硅基电路的兼容性，是构建超灵敏FET传感器的理想通道材料。

碳基生物传感器的稳定性：在4寸硅片上沉积高纯度单壁碳纳米管薄膜，使用超薄的Y₂O₃薄膜做为氧化栅介质层，削弱离子溶液对沟道的直接作用，使得传感机制主要体现为静电调控。所有的制备流程均基于晶片规模，并与主流的CMOS工艺相兼容。

碳基生物传感器的均一性：随机选取90个碳纳米管FET型器件进行液栅测试，所有晶体管都表现出p型场效应晶体管特性，传输特性高度一致，电流开关比可高达10⁵，其优良的阈值电压与SS为传感器实现更高的灵敏度提供了可能。

碳基生物传感器器件制作：